クリーンルームの基礎｜ISOクラス・フィルター・設計要件

クリーンルームの基礎｜ISOクラス・フィルター・設計要件

半導体・医薬品・食品・精密機器の製造に欠かせないクリーンルームの設計要件・ISOクラス・フィルター技術の基礎を解説します。

ISOクラスとは

ISO 14644-1によるクリーン度分類。1立方メートルあたりの0.1μm以上の粒子数で定義。

• ISO Class 1〜3：半導体最先端プロセス（EUVリソグラフィ等）
• ISO Class 4〜5：半導体・光学機器
• ISO Class 6〜7：医薬品・医療機器製造
• ISO Class 8〜9：精密機器・食品

HEPAフィルターとULPAフィルター

HEPAフィルター：0.3μm以上の粒子を99.97%以上除去。ISO Class 7〜8相当。ULPAフィルター：0.12μm以上の粒子を99.9995%以上除去。ISO Class 4〜5相当。

気流設計

乱流方式：一般空調に近い。コスト低。ISO Class 7〜8向け。層流方式（一方向流）：天井から床への一定方向の気流。ISO Class 5以上向け。

クリーンルーム設計の要素

換気回数（1時間あたりの空気入れ替え回数）・室内圧力（陽圧・陰圧）・温湿度管理・材料選定（発塵のない床・壁・天井素材）が設計の核心です。

まとめ

クリーンルーム設計は「用途に見合ったクラスの選定」と「ライフサイクルコストの最適化」が基本。過剰仕様のクリーンルームは建設・運用コストを不必要に増加させます。