MEMSとは

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems：微小電気機械システム）は、半導体製造技術を使って作られたシリコン製の超小型センサー・アクチュエーター・構造体です。スマートフォン・自動車・医療機器の中に数十個のMEMSデバイスが内蔵されています。

MEMSの代表的なデバイス

デバイス 動作原理 主な用途
MEMS加速度センサー 慣性力で微小ビームが変位 スマホ・エアバッグ
MEMS角速度センサー コリオリ力を検出 カーナビ・手ぶれ補正
MEMS圧力センサー ダイアフラムの変形を検出 自動車・医療
MEMSマイクロフォン 音圧で薄膜が変位 AirPods・スマホ
MEMS DLP 微小ミラーアレイ プロジェクター

MEMSの製造プロセス

シリコンウェハーを半導体と同様のリソグラフィ・エッチング技術で加工して3D構造を作ります。バルクマイクロマシニング（シリコンを削る）とサーフェスマイクロマシニング（薄膜を積み上げる）の2方式があります。

市場規模と成長

MEMSの世界市場は2023年に約200億ドルで、自動運転・IoT・ウェアラブル・医療の需要拡大で年10%以上の成長が予測されています。ロームや村田製作所・TDKなど日本企業が重要な地位を占めています。